基于飛秒激光的直寫技術具有高精度、無掩模、非接觸及立體加工等優(yōu)點，是當前微納加工領域的關鍵技術之一。一方面，飛秒激光由于其超高的光子密度，容易誘發(fā)高分子聚合物材料的雙光子吸收效應，從而突破光學衍射極限實現(xiàn)一百納米量級的加工精度；另一方面，飛秒激光由于其極窄的脈寬與極。高的峰值功率，在飛秒切削加工金屬、陶瓷等材料時能夠直接將材料轉變?yōu)榈入x子體，加工熱影響區(qū)域極小。近年來，飛秒激光直寫技術已在微納光學、光信息存儲、仿生材料、生物醫(yī)學診療等領域都得到了廣泛的應用，為相關領域的納米結構加工需求提供了有效的解決方案。